超高性能傳感器支持大范圍超精確測量的核心質(zhì)量
測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號。
最大分辨率達(dá)0.25 μm。
最大響應(yīng)速度達(dá)110 μs。
支持并行輸出。
超穩(wěn)定性
最佳尺寸/穩(wěn)定性
傳感器尺寸
重視性能的最佳傳感器頭尺寸和3點式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。(參見注釋)
卓越的移動分辨率
透視分辨率提升
通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學(xué)系統(tǒng)最優(yōu)化,從而大幅度降低移動分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。
材質(zhì)間誤差降低
2維CMOS
CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象,不會受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動影響。
降低決定測量精度的不同物體之間的差異。
因此,可以更方便地應(yīng)用于檢測對象物。
行業(yè)首創(chuàng)的1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點。
專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡,采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計最適用于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。
在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有壓倒性的優(yōu)勢。
令人難以置信的測量精度0.25μm,同級產(chǎn)品的最高水平。
密封調(diào)和器的高度控制
7AA脈澤電子(MASERAC) - 領(lǐng)先的機(jī)電部件、電子元件、傳感器生產(chǎn)銷售服務(wù)商
ZS-HL系列傳感器控制器7AA脈澤電子(MASERAC) - 領(lǐng)先的機(jī)電部件、電子元件、傳感器生產(chǎn)銷售服務(wù)商
| 項目 |
型號 |
ZS-HLDC11 |
ZS-HLDC41 |
| 平均采樣數(shù) |
1/2/4/8/16/32/64/256/512/1,024/2,048、4,096 |
| 安裝傳感器 |
每只傳感器控制器1個 |
| 外部接口 |
鏈接方式 |
串口I/O:連速器,其他:預(yù)配線(標(biāo)準(zhǔn)電纜長度:2m) |
| 串口I/O |
USB2.0 |
1個端口,全速(12Mbps以下),MINI-B |
| RS-232C |
1個端口,115,200bps以下 |
| 輸出 |
判斷輸出 |
3個輸出:HIGH(高)/PASS(通過)/LOW(低)
NPN開路集電極,DC30V,最大為50mA,殘余電壓:最大為1.2V |
3個輸出:HIGH(高)/PASS(通過)/LOW(低)
PNP開路集電極,最大為50mA,殘余電壓:最大為1.2V |
| 線性輸出 |
可從2種輸出,電壓或電流中選擇(通過底座上切換開關(guān)進(jìn)行選擇)。
·電壓輸出:-10~10V,輸出阻抗40Ω
·電流輸出:4~20mA,最大負(fù)載電阻:300Ω |
| 輸入 |
激光OFF,歸零定時,復(fù)位 |
ON:短路,端電壓0V或1,5V或更低
OFF:開路(漏電流:最大為0.1mA) |
ON:電源電壓短路或電源電壓差1.5V以內(nèi)
OFF:開路(漏電流:最大為0.1mA) |
| 功能 |
顯示:測量值、門限值、電壓/電流、接收光量以及分辨率/端子塊輸出*2
傳感:模式、增益、測量對象、頭安裝
測量點*1:平均值、峰值、谷值、厚度、斷差以及計算
過濾:平滑、平均以及微分
輸出:比例(聚焦/校正)、判斷(遲滯和定時器)、非測量、及組(切換和清除)*
系統(tǒng)保存、初始化、測量信息顯示、通信設(shè)定值、鍵鎖定、語言及數(shù)據(jù)加載
任務(wù):ZS-HLDC□1:單任務(wù)或多任務(wù)(最多4項)
ZS-LDC□1:單任務(wù) |
| 狀態(tài)指示燈 |
HIGH(橘黃色)、PASS(綠色)、LOW(橘黃色)、LDON(綠色)、ZERO(橘黃色)、ENABLE(綠色) |
| 分段顯示 |
主顯示 |
8段紅色LED,6位 |
| 副顯示 |
8段綠色LED,6位 |
| LCD |
16位數(shù)×2行、字符顏色:綠色,每個字符分辨率:5×8像素矩陣 |
| 設(shè)定輸入 |
設(shè)定鍵 |
方向鍵(上、下、左、右)、設(shè)定鍵、退出鍵、菜單鍵及功能鍵(1~4) |
| 切換開關(guān) |
門限開關(guān)(2種狀態(tài):高/低)、模式開關(guān)(3種狀態(tài):功能、示教及運行) |
| 電源電壓 |
DC21.6V~26.4V(包括紋波) |
| 電流消耗 |
最大為0.5A(連接傳感器頭時) |
| 環(huán)境溫度 |
運行:0~50°C,儲存:-15~+60°C(無結(jié)冰、無結(jié)露) |
| 環(huán)境濕度 |
運行和儲存時:35%~85%(無結(jié)露) |
| 防護(hù)等級 |
IP20 (IEC60529) |
| 材質(zhì) |
外殼:聚碳酸酯(PC) |
| 電纜長度 |
2m |
| 質(zhì)量 |
約280g(不含包裝材質(zhì)和附件) |
| 附件 |
鐵氧體磁芯(1),說明書 |
*1.當(dāng)選擇多任務(wù)模式時可用于ZS-HLDC□1。
*2.端子塊輸出是ZS-HLDC□1的一種可能。
ZS-HL系列傳感器頭
| 型號 |
ZS-HLDS2T |
ZS-HLDS2VT |
ZS-HLDS5T |
| 可應(yīng)用控制器 |
ZS-HLDC系列 |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
正反射 |
漫反射 |
正反射 |
漫反射 |
正反射 |
| 測量中心距離 |
20 mm |
5.2 mm |
25 mm |
50 mm |
44 mm |
| 測量范圍 |
±1 mm |
±1 mm |
±2 mm |
±5 mm |
±4 mm |
| 光源 |
可視半導(dǎo)體激光(波長:650nm,最高1mW,JIS Class 2) |
| 光束形狀 |
線光束 |
| 光束直徑 *1 |
1.0 mm × 20 μm |
2.2 mm × 45 μm |
1.0 mm × 30 μm |
3.5 mm × 60 μm |
| 直線性 *2 |
±0.05%F.S. |
±0.2%F.S. |
±0.1%F.S. |
| 分辨率 *3 |
0.25 μm
(平均采樣數(shù): 256) |
0.6 μm
(平均采樣數(shù): 128) |
0.25 μm
(平均采樣數(shù): 512) |
1 μm
(平均采樣數(shù): 64) |
| 溫度特性 *4 |
0.01%F.S./°C |
0.1%F.S./°C |
0.01%F.S./°C |
| 采樣周期 |
110 μs (高速模式), 500 μs (標(biāo)準(zhǔn)模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高靈敏度模式) |
LED
指示燈 |
NEAR
指示器 |
接近測量中心距離以及測量范圍內(nèi)小于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
FAR
指示器 |
接近測量中心距離以及測量范圍內(nèi)大于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
| 運行環(huán)境照明 |
在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白熾燈) |
| 環(huán)境溫度 |
運行: 0 ~ 50°C, 儲存: -15 ~ 60°C (無結(jié)冰,無結(jié)露) |
| 環(huán)境濕度 |
運行和儲存: 35% ~ 85% (無結(jié)露) |
| 防護(hù)等級*5 |
IP64 |
IP67 |
電纜長度 0.5 m: IP66, 電纜長度 2 m: IP67 |
| 材料 |
外殼:鋁印模壓鑄,前蓋:玻璃 |
| 電纜長度 |
0.5 m, 2 m |
2 m |
0.5 m, 2 m |
| 質(zhì)量 |
約350 g |
約600 g |
| 附件 |
激光關(guān)聯(lián)標(biāo)簽
(JIS・EN 各1枚、FDA 3枚),
鐵氧體磁芯(4),
保險鎖(2),
說明書 |
激光關(guān)聯(lián)標(biāo)簽
(JIS・EN 各1枚),
鐵氧體磁芯(2),
保險鎖(2),
說明書 |
激光關(guān)聯(lián)標(biāo)簽(JIS・EN 各1枚、FDA 3枚),
鐵氧體磁芯(4),保險鎖(2),說明書 |
| 型號 |
ZS-HLDS10 |
ZS-HLDS60 |
ZS-HLDS150 |
| 可應(yīng)用控制器 |
ZS-HLDC 系列 |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
漫反射 |
正反射 |
漫反射 |
漫反射 |
| 測量中心距離 |
100 mm |
94 mm |
600 mm |
1500 mm |
| 測量范圍 |
±20 mm |
±16 mm |
±350 mm |
±500 mm |
| 光源 |
可視半導(dǎo)體激光(波長:650nm,最高1mW,JIS Class 2) |
可視半導(dǎo)體激光(波長:658nm,最高1mW,JIS Class 2) |
| 光束形狀 |
線光束 |
| 光束直徑 *1 |
3.5 mm × 60 μm |
16 × 0.3 mm ( 500 mm) |
40 × 1.5 mm ( 1,500 mm) |
| 直線性 *2 |
±0.1%F.S. |
±0.07%F.S. (250 ~ 750 mm),
±0.1%F.S. (750 ~ 950 mm) |
±0.2%F.S. |
| 分辨率 *3 |
1 μm (平均采樣數(shù): 64) |
8 μm (平均采樣數(shù): 250 mm時64),
40 μm (平均采樣數(shù): 600 mm時64) |
500 μm(平均采樣數(shù): 64) |
| 溫度特性 *4 |
0.01%F.S./°C |
| 采樣周期 |
110 μs (高速模式), 500 μs (標(biāo)準(zhǔn)模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高靈敏度模式) |
LED
指示燈 |
NEAR
指示器 |
接近測量中心距離以及測量范圍內(nèi)小于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
FAR
指示器 |
接近測量中心距離以及測量范圍內(nèi)大于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
| 運行環(huán)境照明 |
在接收光表面照明:
3000 lx 以下 (白熾燈) |
在接收光表面照明:
1000 lx 以下 (白熾燈) |
在接收光表面照明:
500 lx 以下 (白熾燈) |
| 環(huán)境溫度 |
運行: 0 ~ 50°C, 儲存: -15 ~ 60°C (無結(jié)冰,無結(jié)露) |
| 環(huán)境濕度 |
運行和儲存: 35% ~ 85% (無結(jié)露) |
| 防護(hù)等級*5 |
電纜長度 0.5 m: IP66, 電纜長度 2 m: IP67 |
IP66 *6 |
| 材料 |
外殼:鋁印模壓鑄,前蓋:玻璃 |
| 電纜長度 |
0.5 m, 2 m |
| 質(zhì)量 |
約600 g |
約800 g |
| 附件 |
激光標(biāo)簽( JIS/EN每件1個), 鐵氧體磁芯 (2), 保險鎖 (2), 說明書 |
*1將實際測量中心距離(有效值)定義為中心光學(xué)密度的1/e2(13.5%)。光束直徑有時受工作狀況的影響,如主光束泄漏的光。
*2.相對于理想直線的測量值誤差。根據(jù)工件情況,直線性可能變化?蛇x以下選項。
*3當(dāng)平均采樣數(shù)設(shè)定在圖表范圍內(nèi)時,在高精度模式下測量中心距離處位移輸出的峰-峰位移轉(zhuǎn)換值。
ZS-HLDS60同時顯示250mm時的最大分辨率?蛇x以下選項。
| 型號 |
漫反射型 |
鏡面反射型 |
| ZS-HLDS2T |
SUS塊 |
玻璃 |
| ZS-HLDS2VT |
— |
玻璃 |
| ZS-HLDS5T |
白色鋁瓷 |
玻璃 |
| ZS-HLDS10 |
白色鋁瓷 |
| ZS-HLDS60/HLDS150 |
白色鋁瓷 |
— |
| 型號 |
漫反射型 |
鏡面反射型 |
| ZS-HLDS2T |
SUS塊 |
玻璃 |
| ZS-HLDS2VT |
— |
玻璃 |
| ZS-HLDS5T |
白色鋁瓷 |
玻璃 |
| ZS-HLDS10 |
白色鋁瓷 |
| ZS-HLDS60/HLDS150 |
白色鋁瓷 |
— |
*4.當(dāng)傳感器和工件通過鋁夾固定時在測量中心距離處得到的值。(典型示例)
*5.連接器部分的IP等級是IP40。
*6.有關(guān)IP67防護(hù)等級傳感器頭的信息請咨詢歐姆龍代表處。
ZS-HL系列傳感頭
| 型號 |
ZS-LD10GT |
ZS-LD15GT |
| 可應(yīng)用控制器 |
ZS-HLDC/LDC 系統(tǒng) |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
正反射 |
| 測量中心距離 |
10 mm |
15 mm |
| 測量范圍 |
±0.5 mm |
±0.75 mm |
| 光源 |
可視半導(dǎo)體激光(波長:650nm,最高1mW,JIS Class 2) |
| 光束形狀 |
線光束 |
| 光束直徑 *1 |
約25 x 900 μm |
| 直線性 *2 |
±0.1%FS |
| 分辨率 *3 |
0.25 μm |
0.25 μm |
| 溫度特性 *4 |
0.04%FS/°C |
| 采樣周期 |
110 μs (高速模式), 500 μs (標(biāo)準(zhǔn)模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高靈敏度模式) |
LED
指示燈 |
NEAR
指示器 |
接近測量中心距離及測量范圍內(nèi)小于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
FAR
指示器 |
接近測量中心距離及測量范圍內(nèi)大于測量中心距離時點亮。
當(dāng)測量目標(biāo)超出測量范圍或接收光量不足時閃爍。 |
| 運行環(huán)境照明 |
在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白熾燈) |
| 環(huán)境溫度 |
運行: 0 ~ 50°C, 儲存: -15 ~ 60°C (無結(jié)冰,無結(jié)露) |
| 環(huán)境濕度 |
運行和儲存: 35% ~ 85% (無結(jié)露) |
| 防護(hù)等級*5 |
IP40 |
| 材料 |
外殼:鋁印模壓鑄,前蓋:玻璃 |
| 電纜長度 |
0.5 m, 2 m |
| 質(zhì)量 |
約400g |
| 附件 |
激光標(biāo)簽( JIS/EN每件1個), 鐵氧體磁芯 (2), 保險鎖 (2) |
*1.將實際測量中心距離(有效值)定義為中心光學(xué)密度的1/e2(13.5%)。光束直徑有時受工作狀況的影響,如主光束泄漏的光。
*2.相對于理想直線的測量值誤差。標(biāo)準(zhǔn)工件在正反射模式下為白色鋁瓷和玻璃。根據(jù)工件情況,直線性可能變化。
*3.當(dāng)平均采樣數(shù)設(shè)定為128且測量模式設(shè)定為高分辨率模式時,在高精度模式下測量中心距離處位移輸出的峰-峰位移轉(zhuǎn)換值。標(biāo)準(zhǔn)工作在正反射模式下為白色鋁瓷和玻璃。
*4.當(dāng)傳感器和工件通過鋁夾固定時在測量中心距離處得到的值。(典型示例)
*5. 連接器部分的IP等級是IP40。
ZS-MDC□1 多通道控制器
基本規(guī)格與 ZS-LDC□1 傳感器控制器的規(guī)格相同。然而以下幾點不同:
1.不能連接傳感器頭
2.最多連接9個控制器時需要使用控制器鏈接單元。連接控制器時需要使用控制器鏈接單元
3.控制器之間的處理功能:數(shù)學(xué)功能
控制器鏈接單元
使用 ZS-XCN進(jìn)行連接
ZS-DSU□1數(shù)據(jù)存儲單元
| 項目 |
型號 |
ZS-DSU11 |
ZS-DSU41 |
| 安裝傳感器頭數(shù) |
不能連接 |
| 可連接控制器數(shù) |
最多為10個控制器(ZS-MDC:1個控制器,ZS-HLDC/LDC:最多為9個控制器)*1 |
| 可連接的控制器 |
ZS-HLDC□□,ZS-LDC□□,ZS-MDC□□ |
| 外部接口 |
鏈接方式 |
串口I/O:連速器,其他:預(yù)配線(標(biāo)準(zhǔn)電纜長度:2m) |
| 串口I/O |
USB2.0 |
1個端口,全速(最大12Mbps),MINI-B |
| RS-232C |
1個端口,115,200bps以下 |
| 輸出 |
3個輸出:HIGH、PASS和LOW;
NPN開路集電極,DC30V,最大50mA,
殘余電壓:最大為1.2V |
3個輸出:HIGH、PASS和LOW;
NPN開路集電極,最大50mA,
殘余電壓:最大為1.2V |
| 輸入 |
ON:短路,端電壓0V或1,5V或更低
OFF:開路(漏電流:最大為0.1mA) |
ON:電源電壓短路或電源電壓差1.5V以內(nèi)
OFF:開路(漏電流:最大為0.1mA) |
| 數(shù)據(jù)分辨率 |
32bit |
| 功能 |
記錄觸發(fā)功能 |
可分別設(shè)定開始和停止觸發(fā):外部觸發(fā)、數(shù)據(jù)觸發(fā)(自觸發(fā))以及時間觸發(fā) |
| 其他功能 |
外部組、報警輸出、保存數(shù)據(jù)格式定制及時鐘 |
| 狀態(tài)指示燈 |
OUT(輸出,橘黃色),PWR(綠色)、ACCESS(達(dá)到,橘黃色),ERR(紅色) |
| 分段顯示 |
8段綠色LED,6位 |
| LCD |
16位數(shù)×2行,字符顏色:綠色,每個字符分辨率:5×8像素矩陣 |
| 設(shè)定輸入 |
設(shè)定鍵 |
方向鍵(上、下、左、右)、設(shè)定鍵、退出鍵、菜單鍵及功能鍵(1~4) |
| 切換開關(guān) |
門限開關(guān)(2種狀態(tài):高/低)、模式開關(guān)(3種狀態(tài):功能、示教及運行) |
| 電源電壓 |
DC21.6V~26.4V(包括波動) |
| 電流消耗 |
最大為0.5A |
| 環(huán)境溫度 |
運行:0~50°C,存儲:0~60°C(無結(jié)冰,無結(jié)露) |
| 環(huán)境濕度 |
運行和存儲時:35%~85%(無結(jié)露) |
| IP等級 |
IP20(IEC60529) |
| 材料 |
外殼:聚碳酸酯(PC) |
| 質(zhì)量 |
約280g(不含包裝材質(zhì)和附件) |
| 附件 |
鐵氧體磁芯(1),數(shù)據(jù)儲存單元說明書:數(shù)據(jù)儲存單元CSV文件轉(zhuǎn)換/Smart Analyzer宏版本 |
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